هن وقت، IC صنعت پاران گھربل تمام اعليٰ-آخر الٽرا-هاءِ پاڪائي واري ڌاتو ٽامي جا هدف ڪيترن ئي وڏين غير ملڪي ملٽي نيشنل ڪمپنين جي اجارداريءَ ۾ آهن.گھريلو IC صنعت پاران گھربل تمام الٽرا پيور ڪاپر ٽارگيٽ کي درآمد ڪرڻ جي ضرورت آھي، جيڪا نه رڳو قيمتي آھي، پر درآمد جي طريقيڪار ۾ پڻ پيچيده آھي، تنھنڪري، چين کي فوري طور تي الٽرا-هاءِ پيورٽي (6N) ٽامي جي اسپٽرنگ هدفن جي ترقي ۽ تصديق کي بھتر ڪرڻ جي ضرورت آھي. .اچو ته هڪ نظر رکون اهم نقطن ۽ مشڪلاتن ۾ الٽرا هاءِ purity (6N) ٽامي جي اسپٽرنگ هدفن جي ترقي ۾.
1,الٽرا اعلي پاڪائي مواد جي ترقي
چين ۾ اعلي پاڪائي جي Cu، Al ۽ Ta metals جي صاف ڪرڻ واري ٽيڪنالاجي صنعتي ترقي يافته ملڪن کان پري آهي.في الحال، اڪثر اعلي-پاڪ metals جيڪي مهيا ڪري سگهجي ٿو، صنعت ۾ روايتي سڀني عنصرن جي تجزيي جي طريقن موجب sputtering مقصدن لاء مربوط circuits جي معيار جي ضرورتن کي پورا نه ٿا ڪري سگهو.ھدف ۾ شموليت جو تعداد تمام گھڻو آھي يا اڻ برابريءَ سان ورهايل آھي.ذرڙا اڪثر ڪري ڦاٽڻ دوران ويفر تي ٺهي ويندا آهن، جنهن جي نتيجي ۾ شارٽ سرڪٽ يا کليل سرڪٽ جي وچ ۾ ڪنيڪشن ٿيندي آهي، جيڪو فلم جي ڪارڪردگيءَ کي سخت متاثر ڪري ٿو.
2,ٽامي اسپٽرنگ ٽارگيٽ تيار ڪرڻ واري ٽيڪنالاجي جي ترقي
ٽامي جي اسپٽرنگ ٽارگيٽ تيار ڪرڻ واري ٽيڪنالاجي جي ترقي بنيادي طور تي ٽن حصن تي ڌيان ڏئي ٿي: اناج جي ماپ، اورينٽيشن ڪنٽرول ۽ يونيفارم.سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري کي سڀ کان وڌيڪ گهرجون آهن انهن جي مقصد کي ڦٽو ڪرڻ ۽ خام مال کي بخار ڏيڻ.ان کي مٿاڇري جي اناج جي سائيز جي ڪنٽرول ۽ ٽارگيٽ جي ڪرسٽل ورهاڱي لاء تمام سخت گهرجون آهن.ھدف جي اناج جي ماپ کي 100 تي ڪنٽرول ڪيو وڃيμ M هيٺ، تنهن ڪري، اناج جي ماپ جو ڪنٽرول ۽ باهمي تجزيي ۽ ڳولها جا وسيلا دھات جي مقصدن جي ترقي لاء تمام ضروري آهن.
3,تجزيو جي ترقي ۽جاچ ٽيڪنالاجي
ھدف جي اعلي پاڪائي جو مطلب آھي نجاست جي گھٽتائي.ماضي ۾، inductively coupled پلازما (ICP) ۽ ايٽمي جذب اسپيڪٽروميٽري کي استعمال ڪيو ويندو هو نجاست جو تعين ڪرڻ لاءِ، پر تازن سالن ۾، اعليٰ حساسيت سان گلو ڊسچارج ڪيفيت جي تجزيي (GDMS) کي بتدريج معياري طور استعمال ڪيو ويو آهي. طريقو.بقايا مزاحمتي تناسب آر آر آر جو طريقو خاص طور تي برقي پاڪائي جي تعين لاءِ استعمال ٿيندو آهي.ان جي عزم جو اصول اهو آهي ته بنيادي ڌاتو جي پاڪائي کي ماپڻ جي ذريعي ماپڻ جي برقي تقسيم جي تڪليف جي درجي کي.ڇاڪاڻ ته اهو ڪمري جي حرارت ۽ تمام گهٽ درجه حرارت تي مزاحمت کي ماپڻ آهي، اهو انگ کڻڻ آسان آهي.تازن سالن ۾، دھاتن جي جوهر کي ڳولڻ لاء، الٽرا-اعلي پاڪائي تي تحقيق تمام سرگرم آهي.انهي حالت ۾، آر آر آر قدر پاڪائي جو اندازو لڳائڻ جو بهترين طريقو آهي.
پوسٽ ٽائيم: مئي-06-2022