اسپٽر ٿيل ٽارگيٽ مواد کي استعمال دوران اعليٰ گهرجون هونديون آهن، نه رڳو پاڪائي ۽ ذري جي سائيز لاءِ، پر يونيفارم ذري جي سائيز لاءِ پڻ.اهي اعلي گهرجون اسان کي وڌيڪ ڌيان ڏين ٿا جڏهن اسپٽرنگ ٽارگيٽ مواد استعمال ڪندي.
1. اسپٽرنگ تيار ڪرڻ
اهو تمام ضروري آهي ته ويڪيوم چيمبر جي صفائي کي برقرار رکڻ لاء، خاص طور تي اسپٽرنگ سسٽم.لوبريڪنٽ، مٽي، ۽ پوئين ڪوٽنگن مان ڪو به باقي بچيل آلودگي کي گڏ ڪري سگھي ٿو جهڙوڪ پاڻي، سڌو سنئون خال کي متاثر ڪري ٿو ۽ فلم ٺهڻ جي ناڪامي جو امڪان وڌائي ٿو.شارٽ سرڪٽ، ٽارگٽ آرسنگ، ٿلهي فلم ٺاهڻ واري سطحون، ۽ گهڻيون ڪيميائي ناپاڪيون عام طور تي ناپاڪ اسپٽرنگ چيمبرن، بندوقن ۽ هدفن جي ڪري ٿينديون آهن.
ڪوٽنگ جي ساختي خاصيتن کي برقرار رکڻ لاء، اسپٽرنگ گيس (آرگن يا آڪسيجن) صاف ۽ سڪل هجڻ گهرجي.اسپٽرنگ چيمبر ۾ سبسٽريٽ کي نصب ڪرڻ کان پوء، پروسيس لاء گهربل ويڪيوم سطح حاصل ڪرڻ لاء هوا کي ڪڍڻ جي ضرورت آهي.
2. ھدف جي صفائي
ھدف جي صفائي جو مقصد ھدف جي مٿاڇري تي موجود مٽي يا گندگي کي ختم ڪرڻ آھي.
3. ھدف تنصيب
ٽارگيٽ مواد جي انسٽاليشن جي عمل دوران ڌيان ڏيڻ لاء سڀ کان اهم شيء ٽارگيٽ مواد ۽ sputtering بندوق جي کولنگ ڀت جي وچ ۾ هڪ سٺي حرارتي ڪنيڪشن کي يقيني بڻائڻ آهي.جيڪڏهن کولنگ وال يا پٺيءَ جي پليٽ کي سختيءَ سان وارڊ ڪيو ويو آهي، ته اهو ٽارگيٽ مواد جي انسٽاليشن دوران ڦاٽڻ يا موڙڻ جو سبب بڻجي سگهي ٿو.پٺئين ٽارگيٽ کان ٽارگيٽ مادي ڏانهن گرميءَ جي منتقلي تمام گهڻو متاثر ٿيندي، جنهن جي نتيجي ۾ ڦاٽڻ دوران گرميءَ کي ختم ڪرڻ ۾ ناڪامي ٿيندي، آخرڪار ٽارگيٽ مواد جي ڀڃڪڙي يا انحراف جو سبب بڻجندي.
4. شارٽ سرڪٽ ۽ سيلنگ جي چڪاس
ھدف واري مواد جي انسٽاليشن کان پوء، اھو ضروري آھي ته شارٽ سرڪٽ جي جانچ ڪريو ۽ سڄي ڪيٿوڊ جي سيلنگ.اهو هڪ ohmmeter ۽ megohmmeter استعمال ڪرڻ جي صلاح ڏني آهي ته معلوم ڪرڻ لاء ته ڪيٿوڊ شارٽ circuited آهي.ان ڳالهه جي تصديق ڪرڻ کان پوءِ ته ڪيٿوڊ شارٽ سرڪٽ ٿيل نه آهي، ڪيٿوڊ ۾ پاڻي داخل ڪري هڪ لڪير جي سڃاڻپ ڪري سگهجي ٿي ته اهو معلوم ڪرڻ لاءِ ته ڇا ڪو لڪيج آهي.
5. ٽارگيٽ مواد اڳ sputtering
اها سفارش ڪئي وئي آهي ته خالص آرگن گيس استعمال ڪرڻ جي لاءِ اڳي ئي ٽارگيٽ مواد کي صاف ڪرڻ لاءِ، جيڪو ٽارگيٽ مواد جي مٿاڇري کي صاف ڪري سگهي ٿو.ھدف واري مواد لاءِ اڳي ڦاٽڻ واري عمل دوران ھلندڙ طاقت کي سست رفتاري سان وڌائڻ جي صلاح ڏني وئي آھي.سيرامڪ ٽارگيٽ مواد جي طاقت
پوسٽ ٽائيم: آڪٽوبر-19-2023