الائي هدفن لاءِ احتياطي تدبيرون

1، ڦاٽڻ جي تياري

اهو تمام ضروري آهي ته ويڪيوم چيمبر، خاص طور تي اسپٽرنگ سسٽم کي صاف رکڻ لاء.تيل، مٽي ۽ پوئين ڪوٽنگ سان ٺهيل ڪو به باقي بچيل پاڻي جي بخارات ۽ ٻين آلودگي کي گڏ ڪندو، جيڪو سڌو سنئون ويڪيوم درجي تي اثر انداز ڪندو ۽ فلم ٺاهڻ جي ناڪامي جو امڪان وڌائيندو.شارٽ سرڪٽ يا ٽارگيٽ آرسنگ، ٿلهي فلم جي مٿاڇري ۽ گهڻو ڪري ڪيميائي ناپاڪ مواد اڪثر ڪري ناپاڪ اسپٽرنگ چيمبر، اسپٽرنگ گن ۽ ٽارگيٽ جي ڪري هوندا آهن.ڪوٽنگ جي ساخت جي خاصيتن تي عمل ڪرڻ لاء، اهو ضروري آهي ته اسپٽرنگ گيس (ارگن يا آڪسيجن) کي صاف ۽ سڪي وڃي.اسپٽرنگ چيمبر ۾ سبسٽرٽ نصب ٿيڻ کان پوء، عمل جي گهربل ويڪيوم تائين پهچڻ لاء هوا کي ڪڍڻ جي ضرورت آهي.اونداهي واري علائقي ۾ ڍڪيل ڍڪ، گفا جي ڀت ۽ ڀرپاسي جي مٿاڇري کي پڻ صاف رکڻو پوندو.ويڪيوم چيمبر کي صاف ڪرڻ وقت، اسان گستاخي واري حصن کي علاج ڪرڻ لاءِ گلاس بال شاٽ بلاسٽنگ استعمال ڪرڻ جي صلاح ڏيون ٿا، ڪمپريس ٿيل هوا سان گڏ چيمبر جي چوڌاري شروعاتي ڦڦڙن جي باقيات کي هٽائڻ لاءِ، ۽ پوءِ خاموشيءَ سان ٻاهرين مٿاڇري کي ايلومينا امپريگنٽيڊ سينڊ پيپر سان پالش ڪريو.گوج پيپر کي پالش ڪرڻ کان پوءِ، ان کي الڪوحل، ايسٽون ۽ ڊيونائيزڊ پاڻي سان صاف ڪيو ويندو آهي.گڏو گڏ، اهو معاون صفائي لاء صنعتي ويڪيوم ڪلينر جي استعمال جي حمايت ڪري ٿو.گاوزان ڌاتو پاران تيار ڪيل هدف ويڪيوم سيل ٿيل پلاسٽڪ جي ٿيلهين ۾ ڀريل آهن،

نمي پروف ايجنٽ ۾ ٺهيل.ھدف کي استعمال ڪرڻ وقت، مھرباني ڪري ھدف کي سڌو سنئون پنھنجي ھٿ سان نه ڇڪيو.نوٽ: ھدف استعمال ڪرڻ وقت، مھرباني ڪري صاف ۽ لينٽ مفت سار سنڀال جا دستانا پائڻ.ھدف کي سڌو سنئون پنھنجي ھٿن سان ھٿ نه ڪريو

2، ھدف جي صفائي

ھدف جي صفائي جو مقصد ھدف جي مٿاڇري تي موجود مٽي يا گندگي کي ختم ڪرڻ آھي.

ڌاتو ٽارگيٽ چار قدمن ۾ صاف ڪري سگهجي ٿو،

پهريون قدم اهو آهي ته ايسٽون ۾ پکڙيل لينٽ فري نرم ڪپڙي سان صاف ڪيو وڃي.

ٻيو قدم پهرين قدم وانگر آهي، شراب سان صفائي؛

مرحلا 3: صاف پاڻي سان صاف ڪريو.deionized پاڻيء سان ڌوئڻ کان پوء، ٽارگيٽ کي تندور ۾ رکو ۽ ان کي 100 ℃ تي 30 منٽن تائين خشڪ ڪريو.

آڪسائيڊ ۽ سيرامڪ مقصدن جي صفائي "لنٽ فري ڪپڙي" سان ڪئي ويندي.

چوٿون قدم ھاءِ پريشر سان ھاءِ پريشر ۽ گھٽ واٽر گيس سان ٽارگيٽ کي ڌوئيندو آھي تہ مٽيءَ واري علائقي کي ھٽائڻ کان پوءِ انھن سمورن ناپاڪ ذرڙن کي ختم ڪيو وڃي جيڪي ڦاٽڻ واري نظام ۾ آرڪ بڻجي سگھن ٿا.

3، ٽارگيٽ ڊوائيس

ھدف جي تنصيب جي عمل ۾، Z اھم احتياطي ھدف ۽ اسپٽرنگ گن جي کولنگ وال جي وچ ۾ سٺي تھرمل ڪنيڪشن ڪنيڪشن کي يقيني بڻائڻ آھي.جيڪڏهن کولنگ اسٽيو جو وار پيج سخت آهي يا پٺئين پليٽ جو وار پيج سخت آهي، ٽارگيٽ ڊيوائس ڦاٽندو يا موڙيندو، ۽ پوئتي ٽارگيٽ کان ٽارگيٽ تائين حرارتي چالکائي تمام گهڻو متاثر ٿيندو، جنهن جي نتيجي ۾ گرميء جي ضايع ٿيڻ ۾ ناڪامي ٿيندي. ڦاٽڻ واري عمل ۾، ۽ ٽارگيٽ ٽٽندو يا مس ٿيندو

حرارتي چالکائي کي يقيني بڻائڻ لاءِ، گريفائيٽ پيپر جي هڪ پرت کي ڪيٿوڊ کولنگ وال ۽ ٽارگيٽ جي وچ ۾ پيڊل ڪري سگهجي ٿو.مھرباني ڪري ڌيان سان چيڪ ڪريو ۽ صاف ڪرڻ لاءِ استعمال ٿيل اسپٽرنگ گن جي کولنگ وال جي فليٽ کي يقيني بڻايو وڃي ته او-رنگ ھميشه جاءِ تي آھي.

جيئن ته استعمال ٿيل ٿڌي پاڻي جي صفائي ۽ مٽي جيڪا سامان جي آپريشن دوران ٿي سگهي ٿي، ڪيٿوڊ کولنگ واٽر ٽينڪ ۾ جمع ٿي ويندي، اهو ضروري آهي ته ڪيٿوڊ کولنگ واٽر ٽينڪ کي چيڪ ڪرڻ ۽ صاف ڪيو وڃي جڏهن ٽارگيٽ کي نصب ڪيو وڃي. ٿڌي پاڻي جي گردش ۽ انٽ ۽ آئوٽليٽ کي بلاڪ نه ڪيو ويندو.

ڪجهه ڪيٿوڊس کي پلان ڪيو ويندو آهي ته انوڊ سان ٿوري جاءِ هجي، ان ڪري ٽارگيٽ کي انسٽال ڪرڻ وقت ان ڳالهه کي يقيني بڻائڻو پوندو ته ڪيٿوڊ ۽ انوڊ جي وچ ۾ ڪو به رابطو يا ڪنڊڪٽر نه آهي، ٻي صورت ۾ شارٽ سرڪٽ ٿيندو.

ھدف کي صحيح طريقي سان هلائڻ بابت معلومات لاءِ سامان آپريٽر جي مينوئل ڏانھن رجوع ڪريو.جيڪڏهن صارف مينوئل ۾ ڪا به اهڙي معلومات نه آهي، مهرباني ڪري گوزان ڌاتو پاران مهيا ڪيل لاڳاپيل تجويزون مطابق ڊوائيس نصب ڪرڻ جي ڪوشش ڪريو.جڏهن ٽارگيٽ فڪسچر کي مضبوط ڪيو وڃي، پهرين هڪ بولٽ کي هٿ سان سخت ڪريو، ۽ پوء ٻئي بولٽ کي هٿ سان ڊرن تي مضبوط ڪريو.هن کي ورجايو جيستائين ڊوائيس تي سڀئي بولٽ مضبوط ٿي وڃن، ۽ پوء ڪنهن شيء سان مضبوط ڪريو.

4، شارٽ سرڪٽ ۽ تنگي جي چڪاس

ٽارگيٽ ڊيوائس جي مڪمل ٿيڻ کان پوء، ان کي شارٽ سرڪٽ ۽ سڄي ڪيٿوڊ جي تنگي کي جانچڻ جي ضرورت آهي،

اهو طئي ڪرڻ جي تجويز آهي ته ڇا ڪيٿوڊ ۾ شارٽ سرڪٽ آهي هڪ مزاحمتي ميٽر استعمال ڪندي

قطار جي تبعيض.تصديق ڪرڻ کان پوءِ ته ڪيٿوڊ ۾ ڪو شارٽ سرڪٽ نه آهي، ليڪ جو پتو لڳائي سگهجي ٿو، ۽ ڪيٿوڊ ۾ پاڻي داخل ڪري سگهجي ٿو ته ان جي تصديق ڪرڻ لاءِ ته ڇا پاڻي جي لڪيج آهي.

5، ھدف کان اڳ ڦاٽڻ

ھدف کان اڳ اسپٽرنگ خالص آرگن اسپٽرنگ جي حمايت ڪري ٿو، جيڪو ھدف جي سطح کي صاف ڪري سگھي ٿو.جڏهن حدف اڳ ۾ اڇلائي وئي آهي، اها صلاح ڏني وئي آهي ته سست رفتار وڌائڻ واري طاقت کي وڌايو وڃي، ۽ سيرامڪ ٽارگيٽ جي طاقت وڌائڻ جي شرح 1.5WH / cm2 آهي.ڌاتو ھدف جي اڳڀرائي جي رفتار سيرامڪ ٽارگيٽ بلاڪ جي ڀيٽ ۾ وڌيڪ ٿي سگھي ٿي، ۽ ھڪڙي مناسب طاقت وڌائڻ جي شرح 1.5WH / cm2 آھي.

پري اسپٽرنگ جي عمل ۾، اسان کي ٽارگيٽ جي آرسنگ کي جانچڻ جي ضرورت آهي.عام طور تي اسپٽرنگ جو وقت تقريبا 10 منٽ آهي.جيڪڏهن ڪو آرسنگ رجحان نه آهي، مسلسل اسپٽرنگ پاور کي وڌايو

مقرر طاقت ڏانهن.تجربي موجب، ڌاتو ٽارگيٽ جي قابل قبول Z اعلي sputtering طاقت آهي

25watts / cm2، 10watts / cm2 ceramic ٽارگيٽ لاء.مھرباني ڪري استعمال ڪندڙ جي سسٽم آپريشن مينوئل ۾ اسپٽرنگ دوران ويڪيوم چيمبر پريشر جي سيٽنگ جو بنياد ۽ تجربو ڏسو.عام طور تي، ان ڳالهه کي يقيني بڻائڻ گهرجي ته ٿڌي پاڻي جي آئوٽليٽ تي پاڻي جو گرمي پد 35 ℃ کان گهٽ هجڻ گهرجي، پر Z ان کي يقيني بڻائڻ ضروري آهي ته ٿڌو پاڻي جو گردش سسٽم مؤثر طريقي سان ڪم ڪري سگهي ٿو.

سپر کولنگ پاڻيءَ جي تيز گردش گرميءَ کي دور ڪري ٿي، جيڪا اعليٰ طاقت سان مسلسل وهڻ کي يقيني بڻائڻ جي هڪ اهم ضمانت آهي.ڌاتو جي مقصدن لاء، اهو عام طور تي وڪيل آهي ته ٿڌو پاڻي جي وهڪري آهي

20lpm پاڻي جو دٻاء اٽڪل 5gmp آهي؛سيرامڪ مقصدن لاءِ، عام طور تي اها صلاح ڏني وئي آهي ته پاڻي جو وهڪرو 30lpm آهي ۽ پاڻي جو دٻاءُ 9gmp آهي.

6، ھدف جي سار سنڀال

ڦاٽڻ جي عمل ۾ ناپاڪ غار جي ڪري پيدا ٿيندڙ شارٽ سرڪٽ ۽ آرسنگ کي روڪڻ لاءِ، ضروري آهي ته وچ ۾ جمع ٿيل اسپٽر کي هٽايو وڃي ۽ ڦاٽڻ واري ٽريڪ جي ٻنهي پاسن کي مرحلن ۾،

اهو پڻ صارفين جي مدد ڪري ٿو مسلسل z اعلي طاقت جي کثافت تي ڦوڪيو

7، ٽارگيٽ اسٽوريج

گاوزان ڌاتو پاران مهيا ڪيل هدف ڊبل-پرت ويڪيوم پلاسٽڪ جي بيگز ۾ پيڪيج ٿيل آهن.اسان وڪيل ڪريون ٿا ته صارف ھدف رکن ٿا، ڇا ڌاتو يا سيرامڪ، ويڪيوم پيڪنگنگ ۾.خاص طور تي، بانڊنگ مقصدن کي ويڪيوم حالتن ۾ ذخيرو ڪرڻ جي ضرورت آهي ته جيئن بانڊ جي پرت جي آڪسائيڊشن کي بانڊنگ جي معيار کي متاثر ڪرڻ کان روڪيو وڃي.ڌاتو جي مقصدن جي پيڪنگنگ جي حوالي سان، اسان کي صلاح ڏني وئي آهي ته Z کي صاف پلاسٽڪ جي ٿيلهين ۾ پيڪيج ڪيو وڃي